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半導(dǎo)體廢氣處理
半導(dǎo)體制造工藝業(yè)需要多種特殊氣體，大量的酸、堿等化學品以及有機溶劑和揮發(fā)性液體等，這些氣體和化學品在半導(dǎo)體制造的不同工藝中使用，產(chǎn)生的廢氣通過排風系統(tǒng)收集并處理，如果沒有經(jīng)過很好的處理就進行排放的話，不僅影響人的身體健康還惡化大氣環(huán)境。
